由于XRF根据各元素的特征X射线的强度，可以测定元素含量，因此近年来质量好的XRF在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、建材、商检、环保、卫生等各个领域的勘测工具，最优秀的XRF还用于RoHS检测领域。大多数分析元素均可用XRF进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围十分广，并且XRF具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。XRF在使用的同时应该注意保养，以便于使用过程中更好的保持稳定性和精确度，在保养方面应注意以下几点。
一、注意XRF工作的外部环境条件
1)周围强磁场干扰，XRF合理的工作环境，要求在没有电机、振动、电磁、高压或有高频率电焊器等电磁干扰的地方安装，这样设备的谱形才能正常工作。2)环境温度、湿度的影响应保持在规定范围内，这样才能够保设备正常运作，所以最好配有空调；空气中相对湿度应严格控制在一定范围内，这样可以保护内部高压单元。
二、注意保持XRF仪器的清洁
1)XRF表面与外壳的清洁，可用微湿的抹布进行表面清洁，不可用碱性或酸性清洁剂，应使用中性清洁剂。2)内部与探测器的清洁，在清洁过程中，必须注意不要将异物掉入测试窗口中，测试窗口应该保持清洁，同时不能使用硬物接触测试窗口内，以保证探测器窗口和X光管窗口完好。3)仪器上禁止摆放茶杯，重物等与测试无关的物品，保护好仪器。
以上就是保养XRF需要注意的几点，另外在操作时应该严格按照要求步骤正确操作，比如在放置样品时，只要开启防护罩，一流的XRF可自动将X光管停止，不再产生X射线，保护使用者的人身安全。还有开启、关闭仪器盖子时，应注意轻开轻放。